臭氧传感器

　　臭氧传感器是一种将臭氧气体的成份、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置

　　1 稳定性

　　稳定性是指传感器在整个工作时间内基本响应的稳定性，取决于零点漂移和区间漂移。零点漂移是指在没有臭氧时，整个工作时间内传感器输出响应的变化。区间漂移是指传感器连续置于臭氧中的输出响应变化，表现为传感器输出信号在工作时间内的降低。理想情况下，一个传感器在连续工作条件下，每年零点漂移小于10[[%]]。

　　2 灵敏度

　　灵敏度是指传感器输出变化量与被测输入变化量之比，主要依赖于传感器结构所使用的技术。大多数气体传感器的设计原理都采用生物化学、电化学、物理和光学。首先要考虑的是选择一种敏感技术，它对目标气体的阀限制(TLV-thresh-old limit value)或最低爆炸限(LEL-lower explosive limit)的百分比的检测要有足够的灵敏性。

　　3选择性

　　选择性也被称为交叉灵敏度。可以通过测量由某一种浓度的干扰气体所产生的传感器响应来确定。这个响应等价于一定浓度的臭氧所产生的传感器响应。这种特性在追踪多种气体的应用中是非常重要的，因为交叉灵敏度会降低测量的重复性和可靠性，理想传感器应具有高灵敏度和高选择性。

　　4抗腐蚀性

　　抗腐蚀性是指传感器暴露于高体积分数目标气体中的能力。在气体大量泄漏时，探头应能够承受期望气体体积分数10~20倍。在返回正常工作条件下，传感器漂移和零点校正值应尽可能小。

　　气体传感器的基本特征，即灵敏度、选择性以及稳定性等，主要通过材料的选择来确定。选择适当的材料和开发新材料，使气体传感器的敏感特性达到最优。

　　1 半导体臭氧传感器：具有成本低廉、制造简单、灵敏度高、响应速度快、寿命长、对湿度敏感低和电路简单等优点。不足之处是必须工作于高温下、对气味或气体的选择性差、元件参数分散、稳定性不够理想、功率要求高。

　　2 电化学型臭氧传感器：需要由外界施加特定电压，优点是检测气体的灵敏度高、选择性好。

　　3 固体电解质臭氧传感器：是一种以离子导体为电解质的化学电池，电导率高、灵敏度和选择性好。

　　4 光学式臭氧传感器：具有自动校正、自动运行的功能。其主要优点是灵敏度高、可靠性好。

　　6 高分子臭氧传感器：具有易操作性、工艺简单、常温选择性好、价格低廉、易与微结构传感器和声表面波器件相结合等特点。

　　测量范围：0～5ppm

　　最大负载：50ppm

　　工作寿命：空气中2年

　　输出信号：-1500±500nA/ppm

　　分辨率：0.02 ppm

　　温度范围：-20°C to 45°C

　　响应时间(T90)：﹤60sec

　　湿度范围：15[%]to90[%]

　　基准线：0.1ppm

　　典型信号漂移：﹤2[%] signal loss/months

　　推荐加载电阻：10 Ohm

　　偏置电压：不需要 C-5