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非晶态半导体存储器


贡献者:angelazhang    浏览:490次    创建时间:2015-01-05

  非晶态半导体存储器
  利用外界条件,如电、热、压力、光等,使非晶态薄膜的结构发生变化,用以记录和存储信息的器件。这种存储器大都用硫系玻璃半导体制成,因而也称为玻璃半导体存储器。
  目录
  1简介
  2非晶态半导体电存储器
  ·工作原理
  ·产品优点
  3非晶态半导体光存储器
  ·工作原理
  ·产品特点
  1简介
  非晶态半导体存储器
  amorphous semiconductor memory
  主要有电存储器和光存储器两大类,前者利用非晶态半导体在电学性质上存在的双稳态特性质,即利用不同的电脉冲信号使其保持高阻状态(关态)和低阻状态(开态)工作。后者利用光辐照使非晶态半导体中的光斑处发生结构变化(一般为非晶态与晶态之间的变化),以记录光信息。它具有光的双稳态性质。非晶态半导体存储器具有信息可长期保持而无功耗,抗高能粒子辐照等特点,可用作高密度,高信噪比的信息记录介质,例如光盘等。
  60年代初,人们就发现某些玻璃半导体中存在电开关和存储现象,但当时并未受到重视。1968年,美国人S.R.奥辛斯基报道,在玻璃半导体Te-As-Si-Ge中存在可重复的稳定的电开关和存储效应,引起了各国科学家的极大兴趣。
  非晶态半导体存储器主要有电存储器和光存储器两类。前者的信息存入、擦除和读出,都是用电脉冲;后者则用光脉冲。
  2非晶态半导体电存储器
  工作原理
  利用其在电学性质上存在双稳态特性,即利用不同电脉冲信号使其保持高阻状态(关态)或低阻状态(开态)工作。按伏安特性划分主要有两种类型,即具有开关性能的存储器和电压控制负阻型存储器。开关性能的存储器的典型例子是硫系非晶态半导体存储器,其起始为高阻态,当加在器件上的电压升高时,电流沿OA增加,如电压小于阈值电压Ut,器件则保持在高阻态。当电压超过Ut时,沿负载线由A点过渡到B点,成为低阻态。电压降为零后,器件仍保持低阻态。这时再加电压,电流就沿OB方向增加,只有加上适当大的电流脉冲(称为复位电流)后,器件才恢复到高阻态(以OA表示)。反向的伏安特性与正向的相似。图2为电压控制负阻型(N 字型)存储器的伏安特性。在某些MIM结构的氧化物薄膜(如Al-SiO-Au)中可观测到这种特性。起始为低阻态,增加外加电压,器件由低阻区经负阻区达A点后,电压迅速降低,器件就可保持高阻态,其伏安特性由OA′表示。加在器件上的电压达B点后就迅速降低,器件将保持阻值较低的高阻态,其伏安特性由OB′表示。只要加上幅度超过Ut的脉冲即可使器件恢复到起始的低阻态。这种非晶态半导体存储器的高阻和低阻两种状态的转化是可逆的,并可反复进行。
  用硫系非晶态半导体已制成有1024位的电可擦除的可编程序只读存储器。
  这类存储器与随机存储器不同,虽然也能擦写,但主要用于固定读出,需要时才加以改写,所以是一种主读存储器。非晶态半导体存储单元集成在硅片上,存储单元之间用PN结二极管隔离(图3),各单元的关态电阻与开态电阻值之比为103~106。
  产品优点
  非晶态半导体存储器有如下优点:①信息可长期保持而无功耗;②每位的状态可用电脉冲随意改写;③可直接与二极管-晶体管逻辑电路和晶体管-晶体管逻辑电路相匹配;④具有抗高能粒子辐照性能。
  3非晶态半导体光存储器
  工作原理
  利用光辐照(激光或氙灯闪光)使非晶态半导体中的光斑处发生结构变化(一般为非晶态与晶态之间的变化),以记录光信息。它具有光的双稳态性质。晶态与非晶态两种状态的折射率和吸收率明显不同,根据反射率和透射率的差异读出。
  光存储器一般采用以硫 (S)、硒(Se)或碲(Te)为基的硫系非晶态半导体,可用真空蒸发或射频溅射法大面积淀积薄膜,并可通过改变材料成分来连续改变材料的光学性质。所用的激光波长范围从紫外到红外辐射。
  产品特点
  光信息记录在非晶态半导体的光盘上,用激光束聚焦为亚微米的光斑。每平方微米材料写入信息所需的激光能量为0.1~0.2纳焦。如圆盘转速为每分钟1800转,光盘上激光功率可小于10毫瓦。所记录的图像质量良好,分辨率超过1000条对每毫米。点的尺寸没有衍射的限制。光照可使晶态转为非晶态,如把激光强度降低三分之二,就可把非晶态转变为晶态。
  非晶态半导体存储器可用作高密度、高信噪比的光信息记录介质,存储位数高于2×107位/厘米2,适用于计算机的存储器、大容量数据存储器、用户和工业视频光盘、视频光盘主控制台等,也可用作全息照相的记录介质、超微缩底片等。


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半导体    存储器    

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