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贡献者：sylar 浏览：2485次 创建时间：2009-06-03
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FabEX是一种优化的、“无需等待”的自动物料传送系统，拥有其专利技术，传送晶圆盒的速度非常快（>3米/秒），因而，能缩短生产周期，提高设备的利用率和增加生产产能。与采用传统运输装置或者悬吊式搬运车辆的AMHS相比，FabEX速度更快，它能够曲线移动或者爬坡，摆动小，有效控制了颗粒物的产生。由于FabEX不需要任何搬运车辆，所以它能提供很高的产能。以上特性都基于IP 技术控制和软件，它能与晶圆厂实现无缝整合。FabEX非常的简洁，更少的移动部件使其具备更高的传送稳定性和更低的拥有成本。
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参考资料
1.http://www.sichinamag.com/Article/html/2007-07/2007715031755.htm
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