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- 名称: 电子束加工
主题词或关键词: 信息科学 硅化物 集成电路
内容
电子束加工是利用高能量的会聚电子束的热效应或电离效应对材料进行的加工。例如对材料表面进行热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼或直接使材料升华。电子束的特点是功率密度大，能在瞬间将能量传给工件。电子束的能量和位置可以用电磁场精确和迅速地调节，实现计算机控制。在微电子工艺中，电子束曝光是一种重要的亚微米加工技术，通过控制电子束辐照光致抗蚀剂的特定位置，以形成极精细的图形。它在大规模集成电路和微波半导体器件的生产中已得到应用。
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