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涡轮分子泵 2009-08-22 xqh0813
涡轮分子泵-正文 利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。 结构和工作原理 1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相