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MEMS振荡器
2015-11-23
不爱吃窝瓜
- 目录
1 MEMS振荡器简介
2 MEMS振荡器原理
3 MEMS振荡器特点
4 MEMS振荡器发展的目标
MEMS振荡器简介
MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响、不易碎的特点。MEMS振荡器的温度稳定性也比传统晶振更好，不受环境温度高低变化的影响。
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MEMS传感器
2010-04-13
asean
- MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微
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毛细管电泳芯片
2009-06-29
葱爆羊肉
- 毛细管电泳芯片是在常规毛细管电泳的原理和技术的基础上，利用微加工技术在平方厘米级大小的芯片上加工出各种微细结构，如通道和其它的功能单元，通过不同的通道、反应器、检测单元等的设计和布局，实现样品的进样、反应、分离和检测，是一种多功能化的快速、高效和低耗的微型实验装置。
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LIGA
2009-06-02
sylar
- LIGA是德文Lithographie，Galanoformung和Abformung三个词，即光刻、电铸和注塑的缩写。
LIGA工艺是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术（工艺流程如图所示），主要包括X光深度同步辐射光刻，电铸制模和注模复制三个工艺步骤。由于X射线有非常高的平行度、极强的辐射强度、连续的光谱，使LIGA技术能够制造出高宽比达到500、厚度大于1500 μm、结构侧壁光滑且平
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微机电系统
2009-05-27
Tony
- 微机电系统是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS的特点是：
1)微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。
2)以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝
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薄膜存储器
2009-05-26
sylar
- 薄膜存储是在集成电路工艺上发展起来的新存储技术。其原理是通过改变硅基底上的薄膜的物理性质，实现数字信息的存储。
薄膜存储器目前有铁电薄膜存储器和有机薄膜存储器等。
下面以IBM公司的Millipede有机薄膜存储器作为例子对薄膜存储器的原理简要介绍。
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Millipede技术是IBM提出的在聚合物表面读写数据的微机械存储器，因为存储器面积很小，读写头需要移动的
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MEMS
2008-05-12
Tony
- MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几
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