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西门子法

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改良西门子法
  多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。
  改良西门子法相对于传统西门子法的优点主要在于:
  1)节能:
  由于改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉,可有效降低还原炉消耗的电能;
  2)降低物耗:改良西门子法对还原尾气进行了有效的回收。
  所谓还原尾气:是指从还原炉中排放出来的,经反应后的混合气体。
  改良西门子法将尾气中的各种组分全部进行回收利用,这样就可以大大低降低原料的消耗。
  3)减少污染:由于改良西门子法是一个闭路循环系统,多晶硅生产中的各种物
  料得到充分的利用,排出的废料极少,相对传统西门子法而言,污染得到了
  控制,保护了环境。
  改良西门子法属于欧美淘汰的旧技术,相对国外最先进的硅烷法成本较高,而且能耗高,污染重。是国内多晶硅企业一般采用的方法。一般3到5年之内会淘汰。


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wuqinyong    


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